电偏转器用途

电偏转主要是用在电子管中。通过磁场改变电子束的流向。主要用在显像管中。

在半导体器件的生产中，电子束曝光技术将可以进行0.1μm以下的微细图案曝光的刻蚀作为有力的技术正在引起人们的注意。虽然在该刻蚀中存在几种方式，但是在各种方式中都存在着要解决的课题。例如，具有所谓的能够一笔描绘图案的“可变矩形束方式”。