补液器原理 心理 关注:3.09W次 补液器的原理是在定压、流量相同条件下,通过控制补液时间来精确控制补液量,当清洗槽每清洗一批硅片后补液装置就适时向清洗槽中补液,这就是人们所述的微量精补装置,有了这种微量补液装置,清洗槽中清洗液的化学浓度的变化波动值就能得到有效控制,从而提高了硅片的清洗质量。 标签: 补液 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://rmnxw.com/lvse/xinli/d7dq1j.html