罗茨真空泵降温水循环接法

罗茨泵2500+1个罗茨泵600+(2个并联滑阀泵H150 )就可以了，滑阀泵H150作为粗抽到500Pa左右开启罗茨泵，维持泵也可以开启其中一台维持，在罗茨泵不运行时，罗茨泵只作为一个通道使用，同时在系统连接时在每台滑阀泵上加一电磁压差阀，防止系统管路反油！