全氟乙烷用途

六氟乙烷，又称全氟乙烷，是一种有机化合物，无色，不可燃气体，不溶于水，溶于乙醇。临界温度19.7℃，常温下(19.7℃)是压缩气体。化学性质不活泼。

用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷

还可用作绝缘气、等离子蚀刻剂，。也可用作制冷剂、发泡剂。