ingaas失效分析原理

ingaas是用来侦测故障点定位，寻找亮点、热点的工具。

ingaas原理是侦测电子-电洞结合与热载子所激发出的光子。

ingaas可侦测的波长较长，范围约在900nm到1600nm之间，等同于红外线的波长区 (EMMI则是在350nm-1100nm)。

ingaas相较EMMI，更适用在检测先进制程组件的缺陷。

原因在于尺寸小的组件，相对操作电压也随之降低，使得热载子所激发出的光波长变得较长，而ingaas就非常适合用于侦测先进制程产品的亮点、热点定位。

将器件分为 优化前和优化后两个大组，每组设置四个扩散深度，研究 InGaAs 光电探测器 Z_n 扩散的一般规律。 2.介绍加速老化实验的相关原理。