12寸光刻机多少钱一台

12寸的1.5亿欧元一台。

荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机售价大约1.5亿欧元，不过要说明的是并没有5纳米光刻机，euv光刻机目前处于第一代，也就是13.5纳米极紫外光光源波长本身就是euv光刻机的精度，荷兰阿斯麦尔euv光刻机非常昂贵，每台售价差不多1.5亿欧元。