中國7nm光刻機自主了嗎

沒有自主。

國產7nm的光刻機還沒有研製成功的，能夠製造7納米芯片的光刻機就是極紫外光刻機，目前能夠製造極紫外光刻機的只有一家，就是荷蘭的阿斯麥公司，而且阿斯麥公司也只是一個組裝公司，極紫外光刻機是一個龐大的工程，它的零件都是全球最頂尖的科技，比如美國的光源，德國的鏡頭，法國機械臂，英國的電動馬達，都是要求非常精密的，難度很大，所以我國還沒研製出來。