三氯氫硅與鹼反應

三氯氫硅在鹼液中分解放出氫氣:

SiHCl3+3NaOH+H2O=Si (OH)4+3NaCl+H2

三氯氫硅SiHCl3，別名三氯硅烷。

三氯氫硅在常温常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有着火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：

SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2