5d光刻機是什麼水平 2

2、5d光刻機可以做到4納米。

所謂2.5d光刻機實際指的是芯片製造領域內作為後道工序的封裝光刻機，至於封裝光刻機能做到幾納米要看前道光刻機制程是幾納米的，因為2.5d光刻機的技術要求遠遠小於光刻機，所以前道光刻機出幾納米制程的，2.5d就能做到幾納米的。

比如上海微電子能製造的最先進光刻機是中端28納米duv光刻機，而卻可以製造5納米的2.5d封裝光刻機。