變介電常數式電容感測器結構
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.變極距式電容式感測器
變極距式電容式感測器用一個固定極扳和一個可動極板構成:可動極板由被測金屬平面充當。
當電容式感測器極板間距因被測量變化而變化時,電容變化量為極距是時的初始電容量。
極板間距的變化不是線性關係說明該型別電容式感測器存在著原理性非線性誤差,即量程遠小於兩極板問的初始距離)時,可以認為麼是線性關係,因此,這種型別的感測器一般用來測量微小的位移變化量
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