xps和eds分析元素有什麼區別

eds與xps的區別：

1) 基本原理不一樣: 簡單來說，XPS是用X射線打出電子，檢測的是電子EDS則是用電子打出X射線，檢測的是X射線。

2) EDS只能檢測元素的組成與含量，不能測定元素的價態，且EDX的檢測限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低。而XPS既可以測定表面元素和含量，又可以測定表其價態。XPS的靈敏度更高，最低檢測濃度＞0.１％。

3) 用法不一樣：EDS常與SEM，TEM聯用，可以對樣品進行點掃，線掃，面掃等，能夠比較方便地知道樣品的表面（和SEM聯用）或者體相（和TEM聯用）的元素分佈情況而XPS則一般獨立使用，對樣品表面資訊進行檢測，可以判定元素的組成，化學態，分子結構資訊等。