氦气检测气密性的原理
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氦气检测气密性原理是利用氦质谱检漏仪,以氦气作为示踪气体进行检漏的技术,主要通过质谱仪将气体分子电离,让带电离子在磁场作用下偏转,不同质荷比的离子偏转半径不同,通过过滤器筛选测量收集到的氦气离子,达到检测目的。
原理将被检件通过管道与氦质谱检漏仪相连,被检件内部抽成真空。
检漏时,用与氦气源相通的喷枪在被检件外壁可疑漏气部位喷吹氦气,如果该处有漏,氦气便通过漏孔进入检漏仪中而被检测出来。
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