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氦气在半导体制造中的作用

氦气在半导体制造中的作用

氦气在半导体制造中的作用

美国能源研究学会在一份说明中解释说:“氦气是一种惰性气体,很难和其他成分起反应,这让其成为半导体制造中很理想的材料。

在硅片周遭裹上惰性气体,可以避免出现意料之外的反应。

另外,由于氦气具有高导热性,它还能高效散热,这可以在半导体制造过程中降低硅片的温度,能让半导体的体积变得更小。”

氦气在半导体、液晶面板和光纤线制造中起着重要作用,可实现零部件的快速冷却,从而提高生产率,还能控制热传递速率,以改善生产效率并减少缺陷此外,氦气还可在生产过程中充当载运气体。

标签: 氦气 半导体
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