半导体工艺废气包括哪些

酸性气体，碱性气体，有机废气，有毒气体。电子半导体行业在生产时会使用显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液等溶剂，而这些溶剂是含有大量的有机物成分。

工业上的有机废气处理常用的工艺有:活性炭吸附处理法、酸碱中和法、等离子法、直接燃烧法、催化燃烧法、吸收法、冷凝法等。