半导体rtp是什么工艺 心理 关注:2.76W次 是快速热处理RTP,即快速热处理,是一种升温速度非常快保温时间很短的热处理方式。RTP 快速热处理(rapid thermal processing),是一种升温速度非常快的,保温时间很短的热处理方式。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。 标签: rtp 半导体 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://rmnxw.com/lvse/xinli/997yp2.html