什么是决速反应 心理 关注:2.98W次 决速反应是指在低的晶圆片温度下,淀积速率随温度倒数减小而增加,在此区域,工艺中的限制在于某一步反应的速率,该反应可能发生在气相中也可能在表面。所提供的信息不足以确定气体是处于化学平衡还是动力学控制的。 标签: 决速 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://rmnxw.com/lvse/xinli/9k94xk.html