硅的氮化反应 心理 关注：5.22K次 工业：高纯度硅与纯氮气在1300度反应3Si+2N2=Si3N4.也可以用化学气相沉积法，在H2的保护下，使SiCl4与N2反应生成的Si3N4沉积在石墨表面，形成一层致密的Si3N4层。3SiCl4+2N2+6H2=Si3N4+12HCl 标签： 氮化 文章版权属于文章作者所有，转载请注明 https://rmnxw.com/lvse/xinli/9mk4l0.html
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