压力传感器可以双面锁合使用吗
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可以
压力感应器之双面接触式是由三个硅晶片结合而成。为了得到很好效果的结合三个硅晶片都是需要严格的表面处理,这样的话才能使压力感应器的效果更加完美,对硅晶片的精度控制取决操作时的空间于是必须选择在真空中来结合晶片。
双面接触式电容压力感应器的制作原理是基于单面接触式电容压力感应器。当感应器的受压膜片与基底距离非常近的时侯,膜片受压后与基底接触,当压力数值变化时,通过改变接触面积的大小来改变电容量。
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