rga残余气体分析仪原理

残余气体分析仪是在真空腔内利用RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四极杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。

RGA 是残留气体分析 Residual Gas Analysis 的缩写，其算是质谱分析 mass spectrometry的一个分支，质谱分析是一种将化学物质转化为气项离子，利用运动离子在电场和磁场中偏转原理，分离不同质荷比（mass-to-charge ratio质量-电荷比）离子的检测分析方