gasbox在半导体中的用途

gasbox  是在半导体中主要用于为设备制程精密供气的同时还需要防止毒气、可燃气的泄漏，具体包含气动阀、阻绝阀、逆止阀、流量调节阀、垫片、镀银螺帽/螺丝等组件，因其有较高的安全气密性、耐蚀性、小型化和精密性要求，故具有较高的技术门槛和行业壁垒。