扩散泵抽真空很慢是什么原因 心理 关注:2.51W次 1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限2、系统有微漏 慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标3、箱体太脏 太脏放气量就大了4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。 标签: 很慢 真空 文章版权属于文章作者所有,转载请注明 https://rmnxw.com/lvse/xinli/qzo4ep.html