硅烷热分解产生什么

硅烷热分解产生单质硅和氢气。

硅烷即SiH4的热分解过程为:

将SiH4气体导入SiH4分解炉，在800~900℃的发热硅芯上，SiH4分解并沉积出高纯多晶硅，其反应式如下：SiH4=Si+ 2H2 ↑

SiH4热分解法有如下优点：

① 分解过程不加还原剂，因而不存在还原剂的玷污。

② SiH4纯度高。

③ SiH4分解温度纸，一般800~900℃。

因SiH4气是易燃易爆的气体，所以整个吸附系统以及分解室都要有高度严密性，必须隔绝空气。

硅烷分解为吸热反应提高温度有利于分解，但从气象往过像载体上成绩时，在体温度存在一个最高值超过此温度后继续升高再体温度。成绩速度反而会下降。其最高温度t等于1250℃。

硅烷在加热的条件发生的分解反应，产生单质硅(Si)和氢气(H2)，该化学方程式为:

SiH4 ====Si + 2H2， ΔH= - 8. 2 kcal/ mol