光阻的化学成分

光阻主要由树脂(resin)，感光剂(sensitizer)，溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻种类: 光阻分为正光阻及负光阻两种。

1、 正光阻: 光阻本身难溶于显影液，曝光后解离成小分子，形成容易溶于显影液的结构。

2、 负光阻: 曝光后形成不容易溶于显影液的结构。