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kt200扩散泵参数

  • kt200扩散泵参数

  • 扩散系主要有四个性能参数，即极限真空、抽气速率、出口压强和返油率。(1)极限真空：一般扩散泵的极限真空为0.00IPa。主要与泵液在泵壁温度下的饱和蒸气压，扩散泵返油，气体从前置真空向高真空反扩散在入口处产生分压强，系壁漏气和放气在入口处产生的分压强，泵口的抽速等五个方面...
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