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EKC概念
ekc是光阻液化学品。光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻液种类:光阻液分为正光阻及负光阻两种。1、正光阻:光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,形成容易溶于显影液的结构。2、负光阻:曝光后形成不容易溶于显影液的结构。...
2024-04-06
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