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爲什麼euv燈管的波長是172nm

  • 爲什麼euv燈管的波長是172nm

  • 因爲環境中的O2分子會在172nm紫外線的照射下解離成爲遊離的氧原子或者O3分子。無論是遊離的氧原子還是O3分子都具有比較強的氧化性，可以與有機小分子反應生成水和二氧化碳。EUV燈管發出172nm的紫外線，照射到玻璃基板表面。玻璃基板表面的有機大分子會在紫外線的作用下解離...
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