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bpsg是什麼化學物質

  • bpsg是什麼化學物質

  • 硼磷硅酸鹽玻璃BPSG材料是有機磷、硼化合物，包括：TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO性質：均為無色有刺激性氣味的液體。應用：用於晶圓製造過程中與TEOS混合，通過CVD工藝沉積。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicateGlass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層...
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