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kt200擴散泵參數

  • kt200擴散泵參數

  • 擴散系主要有四個性能參數，即極限真空、抽氣速率、出口壓強和返油率。(1)極限真空：一般擴散泵的極限真空為0.00IPa。主要與泵液在泵壁温度下的飽和蒸氣壓，擴散泵返油，氣體從前置真空向高真空反擴散在入口處產生分壓強，系壁漏氣和放氣在入口處產生的分壓強，泵口的抽速等五個方面...
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