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reticle和mask的區別

  • reticle和mask的區別

  • 現在在Fab裏面mask和reticle都有人説，都是指光罩，沒有什麼區別。不過看到資料關於Mask和reticle的定義説的比較清楚也比較合理。mask是從早期接觸式曝光的時候接近1:1的説法reticle是後續步進投影式光刻機出現之後為了區分而命名的（reticle意思是十字，早期光刻機mask對準用的...
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