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關於reticle的時尚顧問
reticle和mask的區別
現在在Fab裡面mask和reticle都有人說,都是指光罩,沒有什麼區別。不過看到資料關於Mask和reticle的定義說的比較清楚也比較合理。mask是從早期接觸式曝光的時候接近1:1的說法reticle是後續步進投影式光刻機出現之後為了區分而命名的(reticle意思是十字,早期光刻機mask對準用的...
2024-01-01
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