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rga殘餘氣體分析儀原理
殘餘氣體分析儀是在真空腔內利用RGA離子分化器將氣體分子電離，電離後的帶電粒子進入四極杆產生的偏轉電場內，由於不同的粒子質量數不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。RGA是殘留氣體分析ResidualGasAnalysis的縮寫，其算是質譜分析massspectrometry的一個分...
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