等离子体温度对照表

工业上使用的等离子体可分为低温等离子体和热低温辉光等离子体是指在低压下产生的气体温度低、电子温度高的非平衡状态的等离子体。热等离子体是指在 10，000 K 或更高温度下处于平衡状态的气体。它主要由电弧放电产生的电子、离子和中性粒子组成。等离子体。低温等离子体在半导体制造工艺中广泛应用，热等离子体主要用于切割金属。

谈论等离子体温度的时候

电子温度 Te

离子温度 Ti

中性粒子温度 Tg

分开来看。

电子从电场获得能量产生等离子体，部分能量通过碰撞转移到重离子重粒子通过辐射或者热量迁移传递到周围环境。

在热平衡等离子体中 Tg=Ti=Te

在非热平衡（低温等离子体）中，Te>>Ti≒Tg

通常在半导体工艺使用的等离子体中，Te 约2~4eV （1eV=11600K）。但是在真空中，碰撞频率低，热交换少而且电子质量低，即使热交换发生，离子或中性粒子也几乎没有温度变化，Ti，Tg 接近室温。所以半导体工艺中的plasma可以说是High Temperature processing at low temperature。

等离子体温度对照表

热等离子体：温度在1000℃～10000℃之内，冷等离子体（小于1000℃）。

等离子清洗机就是使用低温等离子对产品表面进行处理，温度是跟室温差不多的，甚至可以用手去触摸产生的辉光。