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bpsg是什么化学物质
硼磷硅酸盐玻璃BPSG材料是有机磷、硼化合物,包括:TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO性质:均为无色有刺激性气味的液体。应用:用于晶圆制造过程中与TEOS混合,通过CVD工艺沉积。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicateGlass,BPSG),即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层...
2024-03-06
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