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reticle和mask的区别

  • reticle和mask的区别

  • 现在在Fab里面mask和reticle都有人说，都是指光罩，没有什么区别。不过看到资料关于Mask和reticle的定义说的比较清楚也比较合理。mask是从早期接触式曝光的时候接近1:1的说法reticle是后续步进投影式光刻机出现之后为了区分而命名的（reticle意思是十字，早期光刻机mask对准用的...
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