reticle和mask的区别

现在在Fab 里面maSK 和reticle 都有人说，都是指光罩，没有什么区别。

不过看到资料关于Mask 和reticle的定义说的比较清楚也比较合理。

mask 是从早期接触式曝光的时候接近1:1的说法

reticle 是后续 步进投影式光刻机出现之后为了区分而命名的（reticle 意思是十字，早期光刻机mask 对准用的是十字坐标）

LCD 厂应该用的不是投影式的曝光，更多是像接触式曝光，所以更多的人叫mask吧（这里是推测，因为没有见到过LCD 的曝光机）

所以总结来说，从定义来看，两者是有区别的，但是发展到今天，两者其实差异并不大，说起mask大家会知道是光罩，说reticle，大家也清楚是光罩。

通常都叫MASK，中文翻译掩膜板，台湾日本叫光罩，LCD 和FAB都是叫MASK，不过LCD厂应该是FMM MASK。

早期的6英寸以下厂的掩膜板叫 reticle，这个叫法已经很少提起了。