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evu与euv区别

  • evu与euv区别

  • evu是英文evaporationunit的缩写，意思是蒸发设备euv是英文extremeultra-violet的缩写，意思是极紫外光刻，是一种以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。...
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